切記！愛德華真空泵維修時必須遵循專業規范
點擊次數：306 更新時間：2025-12-09
愛德華真空泵廣泛應用于半導體制造、科研實驗、醫療設備及鍍膜工藝等對真空度、潔凈度和穩定性要求高的領域。其產品涵蓋旋片泵、干式螺桿泵、渦輪分子泵等類型，結構精密、材料特殊。一旦出現故障，若維修操作不當，不僅難以恢復性能，還可能造成二次損壞或安全隱患。因此，
愛德華真空泵維修時必須遵循專業規范，做到安全、原廠、細節。
一、愛德華真空泵維修前準備
斷電與泄壓：務必切斷主電源，并通過排氣閥釋放泵腔內殘余真空與壓力，防止意外啟動或油液噴濺；
冷卻等待：運行后的泵體溫度可達80℃以上，需靜置至室溫再拆卸，避免燙傷或熱變形；
查閱手冊：嚴格參照維修指南（如iGLX、nXDS系列手冊），確認拆裝順序與專用工具要求。
二、核心注意事項
嚴禁非授權拆解
愛德華真空泵多采用模塊化密封設計，內部軸承、轉子間隙精度達微米級。非專業人員強行拆卸易導致動平衡破壞、密封失效。建議僅由經認證的技術人員操作，或返廠維修。
使用原廠備件
油封、O型圈、葉片、潤滑油等必須選用原廠配件。劣質替代品可能導致：
油品不兼容引發碳化堵塞；
密封件耐溫/耐化學性不足，造成泄漏；
軸承公差不符，加劇振動與磨損。
潤滑油更換規范
排油時趁熱進行，確保舊油及污染物排出；
使用固定型號真空油（如Edwards ULTRAGRADE 15/19）；
加注量嚴格按刻度線，過多導致過熱，過少引起潤滑不足。
防污染與潔凈操作
維修環境應保持無塵，所有工具、零件用無絨布覆蓋。尤其在半導體或醫療應用中，微粒污染會直接導致工藝失敗。裝配前用高純氮氣吹掃腔體。
電氣與安全聯鎖檢查
干泵常集成溫度、振動、壓力傳感器。維修后需測試：
過熱保護是否觸發；
反向旋轉報警功能；
急停按鈕響應速度。
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