愛德華半導體真空泵維修EPX180L

新的緊湊型EPX180L、 EPX500 高真空干泵的特性是：工作性能更佳，運行成本更低。EPX500 EPX180L、使用了的保護機械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的極限壓力。
IPX 系列，可提供的性能，與 EPX 相比，包裝重量輕了 20%、體積小了 30% 且功率降低了 40%。 

應用:

EPX 系列涵蓋的應用，從水處理到中度工作負載的制程。

EPX“L”系列旨在用于泵送惰性氣體混合物（如負荷鎖定）且通過制程機臺接口提供控制的清潔工作應用。

功能和優勢

緊湊的占地面積 – 作為可用的小工具上泵之一，EPX 節省了占地面積。EPX 可以直接安裝到工具上，從而節省了前級管道和安裝成本，如果需要也可遠程安裝。

低運行成本 - EPX 僅需要 1.4 kW 的功率和整合空閑模式，從而可化功率效率。的保護機械裝置 – EPX 可以從大氣壓抽空到渦輪分子基準壓力，并可以在所有進氣口壓力下連續工作。

超清潔機械裝置 – 傳統的高真空軸承底油脂使用油脂潤滑，這可能成為制程工具中污染源。EPX 泵沒有高真空軸承底油脂，并且不存在任何其他的潛在污染源。

非常可靠EPX 基于經過現場驗證的 IPX 技術，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大約每 5 年維修一次，程度地延長了泵的使用壽命。

可兼容的網絡 - EPX 系列配有終用戶控制，可以連接到各種結構的網絡，以進行診斷監視和控制。 
 

Edwards Overhaul：愛德華真空泵維修、愛德華真空泵保養、Edwards真空泵維修、Edwards真空泵保養

Leybold Overhaul：萊寶真空泵維修、萊寶真空泵保養、Leybold真空泵維修、Leybold真空泵保養

Busch Overhaul：普旭真空泵維修、普旭真空泵保養、Busch真空泵維修Busch真空泵保養

Becker Overhaul：貝克真空泵維修、貝克真空泵保養、Becker真空泵維修Becker真空泵保養 

Rietschle Overhaul：里其樂真空泵維修、里其樂真空泵保養、Rietschle真空系維修 Rietschle真空泵保養

Pfeiffer Overhaul：普發真空泵維修、普發真空泵保養、Pfeiffer真空泵維修、Pfeiffer真空泵保養

Alcatel Overhaul：阿爾卡特真空系維修、阿爾卡特真空泵保養、Alcatel真空泵維修、Alcatel真空泵保養 

eVarian Overhaul：瓦里安真空泵維修、瓦里安真空泵保養、Varian真空泵維修、Varian真空泵保養

eKinney Overhaul：凱尼真空泵維修、凱尼真空泵保養、Kinney真空泵維修、Kinney真空泵保養

Sullair Overhaul：壽力真空泵維修、壽力真空泵保養、Sullair真空泵維修、Sullair真空泵保養

D.V.P.Overhaul：意大利D.V.P.真空泵維修、D.V.P.真空泵保養 

eP.V.R.Overhaul：意大利P.V.R.真空泵維修、P.V.R真空泵保養

.GEV Overhaul：意大利GEV真空系維修、GEV真空泵保養 

Vuototecnica Overhaul：意大利沃泰克真空系維修、沃泰克真空泵保養、Vuototecnica真空系維修、Vuototecnica真空泵保養 

Atlas-Copco Overhaul：阿*科普柯真空京維修、阿*·科普柯真空泵保養。Atlas·Copco真空泵維修

Shinko Seiki Overhaul：神港精機真空泵維修、神港精機真空泵保養、Shinko Seiki真空泵維修、Shinko Seiki真空泵保養

Maruyama Overhaul：丸山真空泵維修、丸山真空泵保養、Maruyama真空泵維修、Maruyama真空泵保養

oHitachi Overhaul：日立真空泵維修、日立真空泵保養、Hitachi真空泵維修、Hitachi真空泵保養

Hanbell Overhaul：中國臺灣漢鐘真空泵維修、漢鐘真空泵保養、Hanbell真空泵維修、Hanbell真空泵保養 

Woosung Overhaul：韓國優成真空泵維修、優成真空泵保養、Woosung真空泵維修、Woosung真空泵保養 

Doovac Overhaul：韓國斗一真空泵維修、斗一真空泵保養、Doovac真空泵維修、Doovac真空泵保養 

Kodivac Overhaul：韓國大亞真空泵維修、大亞真空泵保養、Kodivac真空泵維修、Kodivac真空泵保養